杭州外圆减薄机价格

时间:2020年11月05日 来源:

吸盘式晶元硅片减薄机,包括设备机箱,设备机箱的左侧固定连接有进液管,进液管上固定连接有分流管,设备机箱的上端开设有进料口,进料口内开设有固定槽,进料口内活动安装有密封盖,密封盖的上端活动安装有提拉把手,密封盖的下端固定安装有安装卡块,密封盖的外侧活动安装有弹性圈,设备机箱的右侧上端活动安装有驱动电机,驱动电机的外侧活动安装有防护罩,防护罩外侧预留有散热孔,驱动电机的下端活动安装有驱动轴,驱动轴的下端活动安装有输出锥形齿轮,输出锥形齿轮的左侧啮合连接有接受锥形齿轮,接受锥形齿轮的左端活动安装有传动轴,传动轴的左侧活动安装有定位板,定位板的左侧活动安装有清洗滚筒。减薄机上蜡后平整度大于正负5um,我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。杭州外圆减薄机价格

减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。然后通过机械加工和化学反应的方法对样品进行一系列减薄研磨抛光的工艺,样品表面到达所需要的厚度,平整度,粗糙度。 那个在工艺上出现的一些问题需要怎么去解决呢,上蜡后平整度大于正负5um,我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。当减薄后片子出现裂痕我们需要对砂轮进行修锐并检查减薄步进速率,当研磨抛光后厚度均匀性较差时,我们要用平面度测量规测量盘面,用小块的砝码重力修正。自动研磨减薄机价格半自动双轴减薄机两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工;

多工位减薄机滑块通过手摇机构来调节在横向导轨上的位置,手摇机构包括丝杆和手柄,丝杆与滑块底部的凸块之间通过螺纹连接。滑块与电动机构来调节在横向导轨上的位置,电动机构包括调节电机、与调节电机输出轴连接的丝杆,丝杆与滑块底部的凸块之间通过螺纹连接。多工位减薄机提高了生产效率和打磨效果,对接驱动机构能够和工件轴完成自动对接,同时驱动工件轴自动旋转,提高了打磨过程在工位切换的流畅性。磨盘在打磨过程中的上下高度可以通过升降机构来调节。通过调节磨盘的上下位置可以实现打磨量可调,进而提高了打磨效果。

立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工 艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。减薄机可让样品表面到达所需要的厚度,平整度,粗糙度。

晶圆加工减薄机,其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板,机体前端面上设有控制面板,机体顶端一侧活动安装有遮盖,遮盖和机体之间开安装有开合器,遮盖内壁正中间安装有研磨头,和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构,吸盘结构和研磨头相互配合。吸盘结构设有输气器、吸盘、气管,吸盘位于输气器正上方,输气器和吸盘活动卡合,吸盘上设有两个以上的气管,气管和吸盘活动卡合。吸盘结构设有堵头,堵头和吸盘活动配合。输气器由抽气管、底盘、通气腔组成,底盘内部设有通气腔,通气腔另一端贯穿底盘另一端,底盘另一端正中间设有抽气管,抽气管和底盘互相垂直,抽气管和通气腔贯通,通气腔靠近抽气管的那端比另一端要窄。减薄机减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。上海自动减薄机供应商

横向减薄机减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。杭州外圆减薄机价格

硅片酸洗减薄机通过旋转提篮带动硅片在装有酸液的箱体内旋转,旋转的同时实现减薄,对于原始硅片有效的控制了单片均匀性、重复性和稳定性,提高了极终成品率;旋转提篮的圆柱状围笼对硅片具有盛装并固定位置的作用,防止由于硅片在围笼内晃动导致碎片,安全可靠;由于圆柱状围笼底部沿其长度方向均匀设有多个隔棱,则可实现大量硅片的同时装夹,实现硅片减薄的批量生产,明显提高了工作效率,同时也方便了对硅片的夹装工作,一致性好;伺服电机可带动旋转提篮在一定周期内交替正、反转,明显增强硅片表面的减薄均匀性;杭州外圆减薄机价格

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