杭州双面减薄机厂家

时间:2021年03月16日 来源:

减薄机采用真空吸盘,硅片等脆性材料要求减薄厚度在微米之间,比较容易损坏,甚至可能在磨削过程中已经损坏,比较难磨削达到要求。并且硅片、兰宝石在磨削过程中产生热量比较小,它们本身自带散热性,而陶瓷片等不具有散热性或散热性比较小,片子磨削较薄,在磨削产生热量和冷却过程中,由于表面和内部产生温差,膨胀程度不同而形成过大的内应力,将会引起片子的变形和损坏,减薄的片子本身材料脆,厚度薄,比较难确保在厚度达标的情况下保证片子完好无损。蓝宝石减薄机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。全自动减薄机产品特点:功能周全。杭州双面减薄机厂家

全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。产品特点:1、功能周全:具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求。2、配置丰富:可配置单轴、双轴研削单元。3、全自动系统:全自动上下片,干进干出的全自动研削系统。4、兼容性好:可根据客户需求定制各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺。江苏硅片减薄机公司减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。

减薄机工件被放置在转盘的若干个工位上,并通过传送装置的转盘逐一传送至打磨位置,驱动机构中的首先驱动组件和第二驱动组件驱动磨头至打磨位置处,第三驱动组件驱动磨头转动对转盘位于打磨位置处的工位上的工件进行打磨减薄。通过传送装置和打磨装置之间的相互配合,加快了磨削速度,提高了生产效率和产能。传送装置还包括用于驱动中心轴转动的第二电机,中心轴一端与转盘固定连接,另一端安装有首先齿轮,第二电机的输出端安装有与首先齿轮相啮合的第二齿轮。传送装置还包括在转盘对应每个工位安装的吸盘,转盘上设置有与每个吸盘的安装位置对应的吸孔。减薄机的功能是协助将芯片表面的研磨产物移去。

立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。全自动减薄机产品特点:配置丰富。

磨床是利用磨具对工件表面进行磨削加工的机床。随着高精度、高硬度机械零件数量的增加,以及精密铸造和精密锻造工艺的发展,磨床的性能、品种和产量都在不断的提高和增长。大多数的磨床是使用高速旋转的砂轮进行磨削加工,少数的是使用油石、砂轮等其他磨具和游离磨料进行加工。磨床能加工硬度较高的材料,如淬硬钢、硬质合金等;也能加工脆性材料,如花岗石、玻璃。但是,目前市场上对平面玻璃产品进行磨削加工的磨床,磨削速度慢,生产效率和产能低。减薄机,旨在解决现有技术中磨床磨削速度慢,生产效率和产能低的问题。蓝宝石减薄机砂轮的大小事根据蓝宝石减薄机直径大小来定,一般有150-170-210mm的规格。江苏硅片减薄机公司

在集成电路制造中,半导体硅材料由于其资源丰富,制造成本低,工艺性好,是集成电路重要的基体材料。杭州双面减薄机厂家

酸洗减薄机一般是直接将单晶硅片放进清洗设备的内部,通过直接对设备内部加注进行辅助加工的酸性溶液进行工作,但是直接的摆放硅片可能会在进行加工的过程中对其造成损伤,并且飞溅的碎屑也会对其他的硅片造成损伤,无法保证加工产品的质量和加工效率,浪费资源增加了运营成本的问题。吸盘式晶元硅片减薄机清洗滚筒的外侧固定连接有连接轴,清洗滚筒的表面活动安装有密封门,清洗滚筒内固定安装有固定杆,固定杆之间活动安装有安装吸盘,安装吸盘上预留有吸气孔,安装吸盘的外侧活动安装有密封圈,设备机箱的内侧下端固定安装有导流板,导流板的两侧活动安装有安装板,安装板远离清洗滚筒的一侧固定安装有阻隔板,设备机箱的右侧下端活动安装有控制阀,控制阀的下端开设有废液出口。杭州双面减薄机厂家

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