舟山双层钢化玻璃观察窗真空烘箱定制
烘箱在电子行业的应用:组件,预热,烘烤,干燥,热分解,固化,退火,回流焊接。数据存储:对录音磁头以及铝制和玻璃磁盘介质磁头以及铝制和玻璃磁盘介质。光纤:黏合剂粘合与固化,Telcordia测试与预烧。半导体组装/圆片级包装:密封剂、BCB,CMOS光学和底胶固化传感器处理,芯片黏着和BGA,B阶黏着剂固化,稳定性测试,配向膜烘烤,预烧和测试,热冲击。半导体前端:磁性退火,圆片级预烧,金属薄膜退火,配向膜烘烤,光阻固化,稳定性测试。真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,最高温度不得超过80C。舟山双层钢化玻璃观察窗真空烘箱定制
真空烘箱
在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污舟山易维护真空烘箱价格检查真空泵管路及结合处有无松动现象。
BPO胶/PI胶/BCB胶固化烘箱要求一、技术指标与基本配置:1、洁净度:Class100级2、氧含量(配氧分析仪):高温状态氧含量:≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量:≤20ppm+气源氧含量3、使用温度:RT~400℃,最高温度:450℃4、控温稳定度:±1℃;5、温度均匀度:150℃±1.5%,350℃±2%以内(空载测试);6、腔体数量:2个,上下布置;单独控温7、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶8、空炉升温时间:1.5h;9、空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时(采用水冷及风冷);10、智能控制系统:PCL+PC工控电脑
维护保养:13、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在高效率点运转,才能获得大的节能效果。14、真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,高温度不得超过80C。15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。16、真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。17、真空泵在工作一个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。18、经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。19、定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。20、真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。21、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。加热时间短,与传统干燥烘箱比加热时间减少50%以上。
由外及里,干燥箱的内胆有两种选择,一是镀锌板,二是镜面不锈钢。镀锌板在长期使用过程中容易生锈,不利于保养;镜面不锈钢外观整洁,易于保养,使用寿命长,属市场上较好的内胆材质,但是价格要稍高于镀锌板。 内胆的样品架子一般有两层,可根据客户的要求增添。由于样品架的质量是由不锈钢压制而成,且多增加的架子不利于内部热风的循环,加大风机的质量要求,所以每加一个架子的成本在三百元之间。国内干燥箱的保温材质主要是以纤维棉为主,少数采用聚氨酯。加热功率比例可任意调节,革除低端控温无温度弊端。舟山双层钢化玻璃观察窗真空烘箱定制
加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。舟山双层钢化玻璃观察窗真空烘箱定制
一般的电热(鼓风)干燥箱均设有温度均匀度参数:自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%,强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟独电热真空干燥箱不设温度均匀度参数,这是因为真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此,从概念上我们就不能再把通常电热(鼓风)干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体,距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时,晒到太阳的一面很暖和,晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致,同时也缺乏好的评估方法,这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。舟山双层钢化玻璃观察窗真空烘箱定制
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