杭州销售四氟化碳厂家价格
电子气体是集成电路、平板显示、分立器件、光伏、光纤等电子工业生产不可或缺的重要原材料。电子气体种类众多,在半导体制造中,广泛应用作保护气体、载气以及用于外延、扩散、掺杂、蚀刻、CVD、清洗等工艺当中。
中国产业发展早期,在技术、工艺、设备等各方面与全球**企业存在较大差距。在电子气体领域,空气化工、林德-普莱克斯、液化空气、大阳日酸等国际气体公司占据着中国绝大部分电子气体市场。国内本土气体企业的市场份额不到20%。 由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。杭州销售四氟化碳厂家价格
电子用特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是集成电路(IC)、显示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纤光缆等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料,广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺,其质量对电子元器件的性能有重要影响。我国高纯电子气体主要应用于集成电路、显示面板、LED 以及太阳能领域,其中,集成电路和显示面板对电子气体的需求共占下游总需求的79%。 四氟化碳没有腐蚀性。可使用铝、铜、青铜、钢、不锈钢等大部分金属和合金材料。聚四氟乙烯和环氧树脂具有良好的耐腐蚀性能。 无锡口碑好四氟化碳厂家哪家好四氟化碳的化学性质稳定,在通常情况下,它与硅直接接触,也不会发生化学反应。
由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品。
预先称取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应,反应放热后,氟开始和碳化硅进行反应,通入等体积的干燥氮气以稀释氟气,使反应继续进行,生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅,随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到**终产品。
半导体电子特气行业具有较高的技术壁垒。半导体电子特种气体在生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,每一步均有严格的技术参数要求和质量控制措施。为了保证半导体器件的质量与成品率,特种气体产品要同时满足“超纯”和“超净”的要求,“超纯”要求气体纯度达到 4.5N、5N 甚至 6N、7N(N 是 Nine 的简写,几个 N 就有几个 9“超净”即要求严格控制粒子与金属杂质的含量。作为特种气体的参数,纯度每提升一个 N,粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级,都将带来工艺复杂度和难度的提升。 它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。
对于混合气而言,配比的精度是参数,随着产品组分的增加、配制精度的上升,客户常要求气体供应商能够对多种 ppm(part per million,百万分之)乃至 ppb(part perbillion,十亿分之)级浓度的气体组分进行精细操作,其配制过程的难度与复杂程度也增大。此外,气瓶处理、气体分析检测、气体配送等环节亦对生产企业提出了较高的技术要求作为关键性材料,特种气体的产品质量对下游产业的正常生产影响巨大。如果晶圆加工环节所使用的气体发生质量问题,将导致整条生产线产品报废,造成巨额损失将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中。杭州直销四氟化碳
以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。杭州销售四氟化碳厂家价格
由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时,由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等; 杭州销售四氟化碳厂家价格
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