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本发明涉及玻璃减薄技术领域,具体涉及一种玻璃减薄设备。背景技术:随着便携式电子器件的发展,手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化,因此需要制造较薄的玻璃基板。为了制造较薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中,然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间,使玻璃减薄液与玻璃反应,实现玻璃减薄。目前的浸泡式减薄法中,反应产物会悬浮于玻璃减薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,这种方法容易造成蚀刻不均,导致进行减薄后还需要进行抛光处理,提高了制备成本。鉴于上述缺陷,本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。技术实现要素:为解决上述技术缺陷,本发明采用的技术方案在于,提供一种玻璃减薄设备,包括蚀刻区,用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理;冲洗区,用于所述玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁;转换区,用于待减薄处理的所述玻璃加工治具加载到所述冲洗区中,并将减薄处理后的所述玻璃加工治具从所述冲洗区卸载到外部;制动组件。宁波显示面板用减薄用清洗剂哪家公司的减薄用清洗剂的品质比较好?
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从而在玻璃侧部提供支撑效果,通过所述底支撑件43和所述侧支撑件44实现玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撑稳定效果。较佳的,所述底支撑件43和所述侧支撑件44可均采用ptfe材质。较佳的,所述侧支撑件44设置为叉状型结构,即所述侧支撑件44包括两叉脚,所述玻璃侧边边缘设置于两所述叉脚间,两所述叉脚在一端连接,两所述叉脚间距离从连接端向非连接端的方向逐渐增大,两所述叉脚间的大距离大于玻璃的厚度,限制玻璃两对应侧部边缘的两所述侧支撑件44之间的水平距离大于玻璃两侧部边缘之间的水平距离,即当玻璃通过两侧的所述侧支撑件44进行支撑限制时,玻璃的两侧部边缘在两所述叉脚间空间内均具有一定的调整间隙,从而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31内往复运动,玻璃的两侧部边缘相较于所述侧支撑件44进行一定的位置移动,从而避免所述侧支撑件44长期于玻璃的同一位置接触紧贴。所述侧支撑件44的结构设置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31内沿直线往复运动的过程中,所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点发生变化,从而避免所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件44的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋,若接触点无法被喷淋,易造成玻璃的减薄缺陷。
选择减薄用清洗剂的注意事项:与被清洗材料的兼容性确保清洗剂不会对被清洗材料产生腐蚀、溶解、变色等不良影响。在选择清洗剂之前,比较好进行小样试验,以确定其适用性。清洗效果根据被清洗材料的表面状况和杂质类型,选择具有良好清洗效果的清洗剂。可以参考清洗剂的产品说明书、用户评价等信息,了解其清洗能力。安全性考虑清洗剂的安全性,包括对人体的危害、易燃易爆性、毒性等。选择安全可靠的清洗剂,并在使用过程中采取必要的防护措施。环保性尽量选择环保型清洗剂,减少对环境的污染。关注清洗剂的生物降解性、挥发性有机物含量等环保指标。成本效益综合考虑清洗剂的价格、使用寿命、清洗效率等因素,选择成本效益高的清洗剂。性价比高的减薄用清洗剂的公司。
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本发明涉及半导体制造技术领域,更具体地说,涉及一种抛光减薄装置和抛光减薄方法。背景技术:采用iii-v族化合物制作的半导体器件和超高速数字/数模混合电路等凭借其优良的频率特性,已经成为通讯、雷达、制导、空间防御、高速智能化武器及电子对抗等现代化装备的部件之一。在众多的iii-v族化合物中,inp(磷化铟)化合物具有独特的优势,这主要得益于其优良的材料特性,例如,inp和ingaas(铟镓砷)之间的晶格失配很小,以及电子饱和速率很高等,所以不论是hemt(highelectronmobilitytransistor,高电子迁移率晶体管)结构还是hbt(heterojunctionbipolartransistor,异质结双极晶体管)结构,都具有非常优异的高频、大功率性能。但是,inp材料的物理性能却很差,非常易碎,很小的碰撞或振动都会导致晶圆碎裂而前功尽弃,因此,inp材料的制造加工面临着很多工艺上的难题。尤其是在超高频率、大功率的inp基rfic(射频集成电路)的制造工艺中,如何在对inp基晶圆进行减薄抛光时,减小或避免inp基晶圆的损伤是本领域技术人员亟待解决的问题之一。技术实现要素:有鉴于此,本发明提供了一种抛光减薄装置和抛光减薄方法,以减小或避免inp基晶圆的减薄抛光损伤。为实现上述目的。好的减薄用清洗剂公司的标准是什么。杭州半导体减薄用清洗剂销售厂
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本发明提供如下技术方案:一种抛光减薄装置,包括:托盘,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圆;喷头,用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,以对所述待加工表面进行抛光;磁转子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨,对所述待加工表面进行减薄。可选地,还包括控制部件;所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连,用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作,以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地,所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层,以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地,所述研磨层为金属氧化物层,所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地,还包括:热板,设置于所述托盘底部,用于对所述托盘进行加热,以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地,所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法,包括:将待加工部件固定在托盘上,所述待加工部件包括inp基晶圆;通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,来对所述待加工表面进行抛光;通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。杭州清洗效果好的减薄用清洗剂订做价格
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